13.7.
Интеграл схем үйлдвэрлэх явцад хавтангийн эсэргүүцэлд имплантын тун (implant dose) болон зуухны байршил хэрхэн нөлөөлөхийг судалж 2 хүчип зүйлт туршилт хийжээ.
Хэрэв 2 хүчин зүйл хоорондоо ямар нэг харилцан үйлчлэлгүй бол хавтангийн эсэргүүцэлд энэ 2 фактор нөлөөтэй юу? $\alpha= 0.05$ гэж ав.
Зуухны байршил | |||
Имплантын тун | 1 | 2 | 3 |
1 | 15.5 | 14.8 | 21.3 |
2 | 27.2 | 24.9 | 26.1 |